Справочник - Материнские платы и процессоры



             

Литография - скромный попутчик больших революций - часть 2


Кроме того, как утверждают представители компании Intel, внедрение 157-нм литографии сопряжено с невозможностью найти разумный ценовой компромисс, поэтому сейчас рассматриваются альтернативные методики.

В частности, инженеры компании Intel изучают возможность использования литографии с применением жесткого ультрафиолета (EUV-литографии), о которой заговорили давно. Источником света для установок данного типа служат компактные газоразрядные лампы, представляющие собой цилиндр диаметром 0,5 мм и длиной несколько мм. В них применяется плотная плазма с температурой 200000-300000 0К, полученная с помощью полого катода, питаемого током около 10000 А. Лампы такого типа способны излучать электромагнитные волны в крайнем ультрафиолетовом диапазоне - порядка 13,5 нм и импульсами длительностью 30 нс. Срок службы таких ламп составляет до 100 млн пульсаций, при неизменной длине волн, что вполне приемлемо с экономической точки зрения.

Компания Intel является одним из сторонников литографии с применением жесткого ультрафиолета вместо 157-нм сканеров. В ее производственных планах использование данной технологии намечено на 2007 год. В то же время немецкая компания Infineon установила экспериментальное оборудование для получения световых волн EUV-спектра в своей лаборатории, для проведения исследований в области фоторезистов и других материалов, необходимых для литографии следующего поколения. А в Японии консорциум Extreme Ultraviolet Lithography System Development Association (EUVA) приступил к разработке первой EUV-установки. Появление рабочего прототипа системы ожидается в 2005 году. Интересно отметить, что в EUVA входят два известных производителя литографического оборудования - Canon и Nikon, давние конкуренты не только в области литографического оборудования. Обе компании будут заниматься совместной разработкой оптических систем для опытной EUV-установки, но несмотря на это, намерены выводить на рынок свои собственные конечные EUV-продукты.

Впрочем, EUV-литография - не единственная альтернатива.


Содержание  Назад  Вперед